Dynamic SIMS for materials analysis in nuclear science

Journal of Vacuum Science & Technology B: Microelectronics and Nanometer Structures 2018 / 05 Vol. 36; Iss. 3

Dynamic SIMS for materials analysis in nuclear science

Peres, Paula, Choi, Seo-Youn, Desse, François, Bienvenu, Philippe, Roure, Ingrid, Pipon, Yves, Gaillard, Clotilde, Moncoffre, Nathalie, Sarrasin, Lola, Mangin, Denis
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Volume:
36
Langue:
english
Journal:
Journal of Vacuum Science & Technology B, Nanotechnology and Microelectronics: Materials, Processing, Measurement, and Phenomena
DOI:
10.1116/1.5017027
Date:
May, 2018
Fichier:
PDF, 3.47 MB
english, 2018
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