Tuning of material properties of ZnO thin films grown by...

Journal of Vacuum Science & Technology A Vacuum Surfaces and Films 2018 / 01 Vol. 36; Iss. 1

Tuning of material properties of ZnO thin films grown by plasma-enhanced atomic layer deposition at room temperature

Pilz, Julian, Perrotta, Alberto, Christian, Paul, Tazreiter, Martin, Resel, Roland, Leising, Günther, Griesser, Thomas, Coclite, Anna Maria
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Volume:
36
Langue:
english
Journal:
Journal of Vacuum Science & Technology A: Vacuum, Surfaces, and Films
DOI:
10.1116/1.5003334
Date:
January, 2018
Fichier:
PDF, 1.32 MB
english, 2018
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