Residual stress measurements in electron beam evaporated...

Journal of Vacuum Science & Technology A Vacuum Surfaces and Films 2018 / 03 Vol. 36; Iss. 2

Residual stress measurements in electron beam evaporated yttria doped zirconia films deposited on Si (111) substrates

Amirtharaj Moses, Kamalan Kirubaharan, Parasuraman, Kuppusami, Chakravarty, Sujay, Rabel, Arul Maximus, Selvaraj, Anandh Jesuraj, Singh, Akash
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Volume:
36
Langue:
english
Journal:
Journal of Vacuum Science & Technology A: Vacuum, Surfaces, and Films
DOI:
10.1116/1.5004229
Date:
March, 2018
Fichier:
PDF, 1.03 MB
english, 2018
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