A comparative study of capacitively coupled HBr/He, HBr/Ar...

A comparative study of capacitively coupled HBr/He, HBr/Ar plasmas for etching applications: Numerical investigation by fluid model

Gul, Banat, Aman-ur-Rehman,
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Volume:
22
Langue:
english
Journal:
Physics of Plasmas
DOI:
10.1063/1.4934922
Date:
October, 2015
Fichier:
PDF, 1.39 MB
english, 2015
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