Study of ZrO 2 thin films deposited at glancing angle by...

Thin Solid Films 2018 / 01 Vol. 645

Study of ZrO 2 thin films deposited at glancing angle by radio frequency magnetron sputtering under varying substrate rotation

Tokas, R.B., Jena, S., Misal, J.S., Rao, K.D., Polaki, S.R., Pratap, C., Udupa, D.V., Thakur, S., Kumar, Sanjiv, Sahoo, N.K.

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Volume:

645

Langue:

english

Journal:

Thin Solid Films

DOI:

10.1016/j.tsf.2017.11.007

Date:

January, 2018

Fichier:

PDF, 1.52 MB

english, 2018

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