Measurement of Leak Rate for MEMS Vacuum Packaging

Journal of Electronic Packaging 2009 Vol. 131; Iss. 4

Measurement of Leak Rate for MEMS Vacuum Packaging

Gan, Zhiyin, Huang, Dexiu, Wang, Xuefang, Lin, Dong, Liu, Sheng
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Volume:
131
Année:
2009
Langue:
english
Journal:
Journal of Electronic Packaging
DOI:
10.1115/1.3144148
Fichier:
PDF, 699 KB
english, 2009
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