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Atomic Layer Deposition of Zinc Glutarate Thin Films

Advanced Materials Interfaces 2017 / 09

Atomic Layer Deposition of Zinc Glutarate Thin Films

Salmi, Leo D., Mattinen, Miika, Niemi, Teemu, Heikkilä, Mikko J., Mizohata, Kenichiro, Korhonen, Sanna, Hirvonen, Sami-Pekka, Räisänen, Jyrki, Ritala, Mikko
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Langue:
english
Journal:
Advanced Materials Interfaces
DOI:
10.1002/admi.201700512
Date:
September, 2017
Fichier:
PDF, 1.21 MB
english, 2017
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