Real-Time Feedback Control of Carbon Content of Zirconium...

IFAC Proceedings Volumes 2004 / 01 Vol. 37; Iss. 1

Real-Time Feedback Control of Carbon Content of Zirconium Dioxide Thin Films Using Optical Emission Spectroscopy

Ni, Dong, Lou, Yiming, Christofides, Panagiotis D., Lao, Sandy, Chang, Jane P.
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Volume:
37
Langue:
english
Journal:
IFAC Proceedings Volumes
DOI:
10.1016/s1474-6670(17)38790-6
Date:
January, 2004
Fichier:
PDF, 8.58 MB
english, 2004
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