Bulk Growth of Low Resistivity n-Type 4H-SiC Using...

Materials Science Forum 2017 / 5 Vol. 897

Bulk Growth of Low Resistivity n-Type 4H-SiC Using Co-Doping

Suo, Hiromasa, Eto, Kazuma, Kato, Tomohisa, Kojima, Kazutoshi, Osawa, Hiroshi, Okumura, Hajime
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Volume:
897
Langue:
english
Journal:
Materials Science Forum
DOI:
10.4028/www.scientific.net/MSF.897.3
Date:
May, 2017
Fichier:
PDF, 677 KB
english, 2017
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