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Effects of Implantation Sequence on the Micro-defects in H...

Journal of Electronic Materials 2016 / 10 Vol. 45; Iss. 10

Effects of Implantation Sequence on the Micro-defects in H and O Implanted Silicon

Wang, Zhuo, Yang, Lin, Zhang, Li-Zhu, Shi, Shao-Bo, Zhang, Peng, Cao, Xing-Zhong, Wang, Bao-Yi
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Volume:
45
Langue:
english
Journal:
Journal of Electronic Materials
DOI:
10.1007/s11664-016-4698-8
Date:
October, 2016
Fichier:
PDF, 788 KB
english, 2016
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