Directional etch of magnetic and noble metals. II. Organic...

Journal of Vacuum Science & Technology A Vacuum Surfaces and Films 2017 / 09 Vol. 35; Iss. 5

Directional etch of magnetic and noble metals. II. Organic chemical vapor etch

Chen, Jack Kun-Chieh, Altieri, Nicholas D., Kim, Taeseung, Chen, Ernest, Lill, Thorsten, Shen, Meihua, Chang, Jane P.
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Volume:
35
Langue:
english
Journal:
Journal of Vacuum Science & Technology A: Vacuum, Surfaces, and Films
DOI:
10.1116/1.4983830
Date:
September, 2017
Fichier:
PDF, 2.85 MB
english, 2017
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