Novel electron monochromator for high resolution imaging...

Journal of Vacuum Science & Technology B: Microelectronics and Nanometer Structures 2016 / 11 Vol. 34; Iss. 6

Novel electron monochromator for high resolution imaging and spectroscopy

Mankos, Marian, Shadman, Khashayar, Kolarik, Vladimir
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Volume:
34
Langue:
english
Journal:
Journal of Vacuum Science & Technology B, Nanotechnology and Microelectronics: Materials, Processing, Measurement, and Phenomena
DOI:
10.1116/1.4962383
Date:
November, 2016
Fichier:
PDF, 3.38 MB
english, 2016
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