Thin crystalline silicon with double-sided nano-hole array...

Materials Research Express 2017 / 05 Vol. 4; Iss. 5

Thin crystalline silicon with double-sided nano-hole array fabricated by soft UV-NIL and RIE

Wang, Min, Zhang, Yulian, Lu, Linfeng, Li, Dongdong, Zhu, Xufei
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Volume:
4
Langue:
english
Journal:
Materials Research Express
DOI:
10.1088/2053-1591/aa6d2e
Date:
May, 2017
Fichier:
PDF, 757 KB
english, 2017
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