Manufacturing PDMS micro lens array using spin coating...

Journal of Micromechanics and Microengineering 2017 / 05 Vol. 27; Iss. 5

Manufacturing PDMS micro lens array using spin coating under a multiphase system

Sun, Rongrong, Yang, Hanry, Rock, D Mitchell, Danaei, Roozbeh, Panat, Rahul, Kessler, Michael R, Li, Lei
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Volume:
27
Langue:
english
Journal:
Journal of Micromechanics and Microengineering
DOI:
10.1088/1361-6439/aa68c8
Date:
May, 2017
Fichier:
PDF, 2.70 MB
english, 2017
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