A thin film thermoelectric device fabricated by a...

Journal of Micromechanics and Microengineering 2017 / 05 Vol. 27; Iss. 5

A thin film thermoelectric device fabricated by a self-aligned shadow mask method

Yang, Fanglong, Zheng, Shuqi, Wang, Hanfu, Chu, Weiguo, Dong, Yuhua
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Volume:
27
Langue:
english
Journal:
Journal of Micromechanics and Microengineering
DOI:
10.1088/1361-6439/aa64a3
Date:
May, 2017
Fichier:
PDF, 1.86 MB
english, 2017
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