Densities and Surface Reaction Probabilities of Oxygen and...

IEEE Transactions on Plasma Science 2017 / 2 Vol. 45; Iss. 2

Densities and Surface Reaction Probabilities of Oxygen and Nitrogen Atoms During Sputter Deposition of ZnInON on ZnO

Matsushima, Koichi, Ide, Tomoaki, Takeda, Keigo, Hori, Masaru, Yamashita, Daisuke, Seo, Hyunwoong, Koga, Kazunori, Shiratani, Masaharu, Itagaki, Naho
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Volume:
45
Langue:
english
Journal:
IEEE Transactions on Plasma Science
DOI:
10.1109/TPS.2016.2632124
Date:
February, 2017
Fichier:
PDF, 1.11 MB
english, 2017
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