[IEEE 2016 IEEE 11th Annual International Conference on Nano/Micro Engineered and Molecular Systems (NEMS) - Sendai, Japan (2016.4.17-2016.4.20)] 2016 IEEE 11th Annual International Conference on Nano/Micro Engineered and Molecular Systems (NEMS) - A high-speed image super-resolution algorithm based on sparse representation for MEMS defect detection

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