Influence of the substrate gas-inlet gap on the growth...

Ceramics International 2017 / 01 Vol. 43; Iss. 1

Influence of the substrate gas-inlet gap on the growth rate, morphology and microstructure of zirconium carbide films grown by chemical vapour deposition

Biira, S., Alawad, B.A.B., Bissett, H., Nel, J.T., Ntsoane, T.P., Hlatshwayo, T.T., Crouse, P.L., Malherbe, J.B.
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Volume:
43
Langue:
english
Journal:
Ceramics International
DOI:
10.1016/j.ceramint.2016.10.092
Date:
January, 2017
Fichier:
PDF, 1.66 MB
english, 2017
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