Fabrication of Tunable InP/Air-gap Fabry-Perot Cavities...

Physica Scripta 1999 Vol. T79; Iss. 1

Fabrication of Tunable InP/Air-gap Fabry-Perot Cavities by Selective Etching of InGaAs Sacrificial Layers

Chitica, Nicolae, Daleiden, J?rgen, Bentell, Jonas, Andr?, Janos, Strassner, Martin, Greek, Staffan, Pasquariello, Donato, Karlsson, Mikael, Gupta, Ram, Hjort, Klas
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Volume:
T79
Année:
1999
Langue:
english
Journal:
Physica Scripta
DOI:
10.1238/Physica.Topical.079a00131
Fichier:
PDF, 327 KB
english, 1999
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