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Calibration of scanning electron microscopes for measuring...

Measurement Techniques 1993 / 08 Vol. 36; Iss. 8

Calibration of scanning electron microscopes for measuring the dimensions of submicron relief elements

Yu. A. Novikov, S. V. Peshekhonov, A. V. Rakov, A. N. Simonov, I. Yu. Stekolin, I. B. Strizhkov, V. V. Tsybul'skii
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Volume:
36
Langue:
english
Pages:
4
DOI:
10.1007/bf00983999
Date:
August, 1993
Fichier:
PDF, 301 KB
english, 1993
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