Sub-10nm Multi-Nano-Pillar Type Vertical MOSFET

IEICE Transactions on Electronics 2010 Vol. E93-C; Iss. 5

Sub-10nm Multi-Nano-Pillar Type Vertical MOSFET

ENDOH, Tetsuo, SAKUI, Koji, YASUDA, Yukio
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Volume:
E93-C
Année:
2010
Langue:
english
Journal:
IEICE Transactions on Electronics
DOI:
10.1587/transele.e93.c.557
Fichier:
PDF, 7.79 MB
english, 2010
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