Strategies to Improve Linewidth Control for 0.25.MU.m and...

Journal of Photopolymer Science and Technology 1996 Vol. 9; Iss. 3

Strategies to Improve Linewidth Control for 0.25.MU.m and 0.18.MU.m devices.

Beeck, Maaike Op de, Ronse, Kurt, Goethals, Mieke, Vandenberghe, Geert, Bruggeman, Bert, Hove, Luc van Den
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Volume:
9
Année:
1996
Langue:
english
Journal:
Journal of Photopolymer Science and Technology
DOI:
10.2494/photopolymer.9.399
Fichier:
PDF, 1.36 MB
english, 1996
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