Multiple Anion Nonvolatile Acetal(MANA) Resists.

Journal of Photopolymer Science and Technology 2001 Vol. 14; Iss. 4

Multiple Anion Nonvolatile Acetal(MANA) Resists.

Brainard, Robert L., Guevremont, Jeffrey M., Reeves, Scott D., Zhou, Xin, Nguyen, Thinh B., Mackevich, Joseph F., Taylor, Gary N., Anderson, Erik H.
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Volume:
14
Année:
2001
Langue:
english
Journal:
Journal of Photopolymer Science and Technology
DOI:
10.2494/photopolymer.14.531
Fichier:
PDF, 2.16 MB
english, 2001
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