Generation and characteristics of a pulse-modulated helium...

BUNSEKI KAGAKU 2002 Vol. 51; Iss. 2

Generation and characteristics of a pulse-modulated helium inductively coupled plasma.

YABUTA, Hironobu, MIYAHARA, Hidekazu, WATANABE, Masato, OKINO, Akitoshi, HOTTA, Eiki
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Volume:
51
Année:
2002
Journal:
BUNSEKI KAGAKU
DOI:
10.2116/bunsekikagaku.51.105
Fichier:
PDF, 2.82 MB
2002
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