(Invited) Mechanism of Low Temperature ALD of Al2O3 on...

ECS Transactions 2016 / 09 Vol. 75; Iss. 5

(Invited) Mechanism of Low Temperature ALD of Al2O3 on Graphene Terraces

Kwak, I., Park, J. H., Grissom, L., Fruhberger, B., Kummel, A.
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Volume:
75
Langue:
english
Journal:
ECS Transactions
DOI:
10.1149/07505.0143ecst
Date:
September, 2016
Fichier:
PDF, 738 KB
english, 2016
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