Design and Analysis of Capacitive Micromachined Ultrasonic...

Key Engineering Materials 2015 / 5 Vol. 645-646

Design and Analysis of Capacitive Micromachined Ultrasonic Transducers Based on SU-8

Li, Yu Ping, He, Chang De, Zhang, Juan Ting, Song, Jin Long, Zhang, Wen Dong, Xue, Chen Yang
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Volume:
645-646
Langue:
english
Journal:
Key Engineering Materials
DOI:
10.4028/www.scientific.net/kem.645-646.577
Date:
May, 2015
Fichier:
PDF, 424 KB
english, 2015
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