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Comparison of batch and in-line PECVD of a-Si:H passivation...

physica status solidi (RRL) - Rapid Research Letters 2016 / 10 Vol. 10; Iss. 10

Comparison of batch and in-line PECVD of a-Si:H passivation layers for silicon heterojunction solar cells

Landheer, Kees, Kaiser, Monja, Poulios, Ioannis, Dörenkämper, Maarten, Soppe, Wim J., Schropp, Ruud E. I., Rath, Jatin K.
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Volume:
10
Langue:
english
Journal:
physica status solidi (RRL) - Rapid Research Letters
DOI:
10.1002/pssr.201600256
Date:
October, 2016
Fichier:
PDF, 604 KB
english, 2016
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