A review: aluminum nitride MEMS contour-mode resonator

Journal of Semiconductors 2016 / 10 Vol. 37; Iss. 10

A review: aluminum nitride MEMS contour-mode resonator

Hou, Yunhong, Zhang, Meng, Han, Guowei, Si, Chaowei, Zhao, Yongmei, Ning, Jin
Avez-vous aimé ce livre?
Quelle est la qualité du fichier téléchargé?
Veuillez télécharger le livre pour apprécier sa qualité
Quelle est la qualité des fichiers téléchargés?
Volume:
37
Langue:
english
Journal:
Journal of Semiconductors
DOI:
10.1088/1674-4926/37/10/101001
Date:
October, 2016
Fichier:
PDF, 2.33 MB
english, 2016
La conversion en est effectuée
La conversion en a échoué