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Diamond and Related Materials 2016 / 10

Diamond-like carbon thin films with high density and low internal stress deposited by coupling DC/RF magnetron sputtering

Liu, Lei, Wang, Tao, Huang, Jinglin, He, Zhibing, Yi, Yong, Du, Kai
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Langue:
english
Journal:
Diamond and Related Materials
DOI:
10.1016/j.diamond.2016.10.004
Date:
October, 2016
Fichier:
PDF, 976 KB
english, 2016
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