Characterization of thin SiGe layers on Si (001) by...

Applied Surface Science 2016 / 8

Characterization of thin SiGe layers on Si (001) by spectroscopic ellipsometry for Ge fractions from 0 to 100%

Schmidt, Jan, Eilert, Marius, Peters, Sven, Wietler, Tobias F.

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Langue:

english

Journal:

Applied Surface Science

DOI:

10.1016/j.apsusc.2016.08.091

Date:

August, 2016

Fichier:

PDF, 891 KB

english, 2016

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