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Microelectronics Reliability 2016 / 9

Electrical analysis on implantation-related defect by nanoprobing methodology

Chen, C.Q., Ng, P.T., Ang, G.B., T an, H., Rivai, Francis, Ma, Y.Z., Ng, H.P., Lam, Jeffery, Mai, Z.H.
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Langue:
english
Journal:
Microelectronics Reliability
DOI:
10.1016/j.microrel.2016.07.091
Date:
September, 2016
Fichier:
PDF, 610 KB
english, 2016
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