Precise piezoelectric characterization of Pb(Hf,Ti)O3 thin...

Thin Solid Films 2016 / 10 Vol. 616

Precise piezoelectric characterization of Pb(Hf,Ti)O3 thin films deposited by combinatorial sputtering

Nishio, Shogo, Kurokawa, Fumiya, Tsujiura, Yuichi, Hida, Hirotaka, Kanno, Isaku
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Volume:
616
Langue:
english
Journal:
Thin Solid Films
DOI:
10.1016/j.tsf.2016.08.063
Date:
October, 2016
Fichier:
PDF, 947 KB
english, 2016
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