Active Control of the Oxidization of a Silicon Cantilever...

Chemistry Letters 2008 / 01 Vol. 37; Iss. 1

Active Control of the Oxidization of a Silicon Cantilever for the Characterization of Silicon-based Semiconductors

Ono, Atsushi, Masui, Kyoko, Saito, Yuika, Sakata, Takao, Taguchi, Atsushi, Motohashi, Masashi, Ichimura, Taro, Ishitobi, Hidekazu, Tarun, Alvarado, Hayazawa, Norihiko, Verma, Prabhat, Inouye, Yasushi,
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Volume:
37
Langue:
english
Journal:
Chemistry Letters
DOI:
10.1246/cl.2008.122
Date:
January, 2008
Fichier:
PDF, 505 KB
english, 2008
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