Nanostructured silicon via metal assisted catalyzed etch...

Nanotechnology 2016 / 10 Vol. 27; Iss. 41

Nanostructured silicon via metal assisted catalyzed etch (MACE): chemistry fundamentals and pattern engineering

Toor, Fatima, Miller, Jeffrey B, Davidson, Lauren M, Nichols, Logan, Duan, Wenqi, Jura, Michael P, Yim, Joanne, Forziati, Joanne, Black, Marcie R
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Volume:
27
Langue:
english
Journal:
Nanotechnology
DOI:
10.1088/0957-4484/27/41/412003
Date:
October, 2016
Fichier:
PDF, 1.91 MB
english, 2016
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