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SPIE Proceedings [SPIE SPIE's 1994 Symposium on Microlithography - San Jose, CA (Sunday 27 February 1994)] Optical/Laser Microlithography VII - Some image modeling issues for I-line, 5X phase-shifting masks

Wojcik, Gregory L., Mould, Jr., John, Ferguson, Richard A., Martino, Ronald M., Low, K. K., Brunner, Timothy A.
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Volume:
2197
Année:
1994
Langue:
english
DOI:
10.1117/12.175440
Fichier:
PDF, 975 KB
english, 1994
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