Imprint Lithography with Pressing at Room Temperature

Journal of The Electrochemical Society 2006 Vol. 153; Iss. 3

Imprint Lithography with Pressing at Room Temperature

Koide, Takeshi, Minemoto, Takashi, Takakura, Hideyuki, Hamakawa, Yoshihiro, Numai, Takahiro
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Volume:
153
Année:
2006
Langue:
english
Journal:
Journal of The Electrochemical Society
DOI:
10.1149/1.2160428
Fichier:
PDF, 496 KB
english, 2006
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