Nano fabricated silicon nanorod array with titanium nitride...

Electrochemistry Communications 2016 / 09 Vol. 70

Nano fabricated silicon nanorod array with titanium nitride coating for on-chip supercapacitors

Lu, Pai, Ohlckers, Per, Müller, Lutz, Leopold, Steffen, Hoffmann, Martin, Grigoras, Kestutis, Ahopelto, Jouni, Prunnila, Mika, Chen, Xuyuan
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Volume:
70
Langue:
english
Journal:
Electrochemistry Communications
DOI:
10.1016/j.elecom.2016.07.002
Date:
September, 2016
Fichier:
PDF, 1.27 MB
english, 2016
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