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SPIE Proceedings [SPIE SPIE Proceedings - (Sunday 12 February 2012)] - The process of low-stress silicon nitride and the application in the fabrication of MEMS device

He, Hongtao, Xu, Yongqing, Yang, Yongjun, Chu, Junhao, Lai, Zongsheng, Wang, Lianwei, Xu, Shaohui
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Année:
2012
Langue:
english
DOI:
10.1117/12.607907
Fichier:
PDF, 159 KB
english, 2012
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