P-11: Channel-Etched CAAC-OS FETs using Multi-layer IGZO

SID Symposium Digest of Technical Papers 2015 / 06 Vol. 46; Iss. 1

P-11: Channel-Etched CAAC-OS FETs using Multi-layer IGZO

Shima, Yukinori, Kanemura, Hiroshi, Higano, Satoshi, Hosaka, Yasuharu, Okazaki, Kenichi, Koezuka, Junichi, Matsuda, Shinpei, Matsubayashi, Daisuke, Yamazaki, Shunpei
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Volume:
46
Langue:
english
Journal:
SID Symposium Digest of Technical Papers
DOI:
10.1002/sdtp.10037
Date:
June, 2015
Fichier:
PDF, 1.22 MB
english, 2015
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