Comparison of the Tougaard, ARXPS, RBS and ellipsometry...

Comparison of the Tougaard, ARXPS, RBS and ellipsometry methods to determine the thickness of thin SiO2 layers

B. S. Semak, C. van der Marel, S. Tougaard
Avez-vous aimé ce livre?
Quelle est la qualité du fichier téléchargé?
Veuillez télécharger le livre pour apprécier sa qualité
Quelle est la qualité des fichiers téléchargés?
Volume:
33
Année:
2002
Langue:
english
Pages:
7
DOI:
10.1002/sia.1206
Fichier:
PDF, 151 KB
english, 2002
La conversion en est effectuée
La conversion en a échoué