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SPIE Proceedings [SPIE Photonics Europe - Strasbourg, France (Monday 3 April 2006)] Optical Micro- and Nanometrology in Microsystems Technology - Continuous writing technique of long gratings for metrological applications

Gamet, Emilie, Gorecki, Christophe, Asundi, Anand K., Jourlin, Yves, Reynaud, Stéphanie, Osten, Wolfgang, Pommier, Jean-Claude, Parriaux, Olivier
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Volume:
6188
Année:
2006
Langue:
english
DOI:
10.1117/12.662207
Fichier:
PDF, 327 KB
english, 2006
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