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SPIE Proceedings [SPIE Design, Test, and Microfabrication of MEMS/MOEMS - Paris, France (Tuesday 30 March 1999)] Design, Test, and Microfabrication of MEMS and MOEMS - Laser diode wavelength locking using a micromachined silicon mirror

Kaou, Neila, Chappaz, Cedrick, Basrour, Skandar, de Labachelerie, Michel, Courtois, Bernard, Crary, Selden B., Ehrfeld, Wolfgang, Fujita, Hiroyuki, Karam, Jean Michel, Markus, Karen W.

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Volume:

3680

Année:

1999

Langue:

english

DOI:

10.1117/12.341271

Fichier:

PDF, 1.07 MB

english, 1999

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