Novel HVPE technology to grow nanometer thick GaN, AlN,...

physica status solidi (c) 2007 Vol. 4; Iss. 7

Novel HVPE technology to grow nanometer thick GaN, AlN, AlGaN layers and multi-layered structures

Alexander Usikov, Lisa Shapovalova, Oleg Kovalenkov, Vitali Sukhoveev, Anna Volkova, Vladimir Ivantsov, Vladimir Dmitriev, Fanyu Meng, Ranjan Datta, Subhash Mahajan, Eric Readinger, Gregory Garrett, M
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Volume:
4
Année:
2007
Langue:
english
Pages:
5
DOI:
10.1002/pssc.200674842
Fichier:
PDF, 297 KB
english, 2007
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