Recent results on AlN growth by HVPE and fabrication of...

physica status solidi (c) 2006 Vol. 3; Iss. 6

Recent results on AlN growth by HVPE and fabrication of free standing AlN wafers

V. Soukhoveev, O. Kovalenkov, V. Ivantsov, A. Syrkin, A. Usikov, V. Maslennikov, V. Dmitriev
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Volume:
3
Année:
2006
Langue:
english
Pages:
5
DOI:
10.1002/pssc.200565469
Fichier:
PDF, 324 KB
english, 2006
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