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[IEEE 2014 IEEE Sensors - Valencia, Spain (2014.11.2-2014.11.5)] IEEE SENSORS 2014 Proceedings - Extremely low resonance frequency MOEMS vibration sensors with sub-pm resolution

Hortschitz, Wilfried, Steiner, Harald, Stifter, Michael, Kohl, Franz, Kainz, Andreas, Raffelsberger, Tobias, Keplinger, Franz
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Année:
2014
Langue:
english
DOI:
10.1109/icsens.2014.6985398
Fichier:
PDF, 1.61 MB
english, 2014
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