Interaction of Ir and IrO 2...

Integrated Ferroelectrics 1997 / 09 Vol. 17; Iss. 1-4

Interaction of Ir and IrO 2 thin films with polysilicon, W and WSI x

Kuah, Shaohong, Balu, Venkatasubramani, Chen, Tung-Sheng, Jiang, Bo, Hadad, Daniel, White, Bruce, Jones, Robert E., Zurcher, Peter, Melnick, Bradley, Gillespie, Sherry, Lee, Jack C.
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Volume:
17
Langue:
english
Journal:
Integrated Ferroelectrics
DOI:
10.1080/10584589708013022
Date:
September, 1997
Fichier:
PDF, 1.00 MB
english, 1997
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