Sub 50 nm Nano-Patterns with Carbon Based Spin-On Organic...

Journal of Nanoscience and Nanotechnology 2012 / 04 Vol. 12; Iss. 4

Sub 50 nm Nano-Patterns with Carbon Based Spin-On Organic Hardmask

Shin, Ju-Hyeon, Yang, Ki-Yeon, Han, Kang-Soo, Kim, Hyeong-Seok, Lee, Heon
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Volume:
12
Langue:
english
Journal:
Journal of Nanoscience and Nanotechnology
DOI:
10.1166/jnn.2012.5646
Date:
April, 2012
Fichier:
PDF, 3.48 MB
english, 2012
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