On the Parameters of Inductively Coupled and Microwave BF3...

On the Parameters of Inductively Coupled and Microwave BF3 Plasmas Used for Plasma Immersion Ion Implantation

Yakov N. Sukhanov, Alexey P. Ershov, Konstantin V. Rudenko, Alexander A. Orlikovsky
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Volume:
2
Année:
2005
Langue:
english
Pages:
8
DOI:
10.1002/ppap.200500006
Fichier:
PDF, 156 KB
english, 2005
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