Electron beam mastering system using a vacuum-compatible...

Microelectronic Engineering 2015 / 07 Vol. 142

Electron beam mastering system using a vacuum-compatible hydrodynamic spindle

Okabe, Takao, Utsumi, Keita, Ogino, Keito, Shinonaga, Yuta, Miyatake, Masaaki, Yoshimoto, Shigeka, Taniguchi, Jun, Sasaki, Shinya
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Volume:
142
Langue:
english
Journal:
Microelectronic Engineering
DOI:
10.1016/j.mee.2015.07.014
Date:
July, 2015
Fichier:
PDF, 1.35 MB
english, 2015
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