3DSEM++: Adaptive and intelligent 3D SEM surface...

Micron 2016 / 08 Vol. 87

3DSEM++: Adaptive and intelligent 3D SEM surface reconstruction

Tafti, Ahmad P., Holz, Jessica D., Baghaie, Ahmadreza, Owen, Heather A., He, Max M., Yu, Zeyun
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Volume:
87
Langue:
english
Journal:
Micron
DOI:
10.1016/j.micron.2016.05.004
Date:
August, 2016
Fichier:
PDF, 5.23 MB
english, 2016
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